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时间：2022-08-31 12:04:30来源：网络整理
1.一种二氧化钛纳米线薄膜的制备方法，其特征在于，该二氧化钛纳米线薄膜以钛粉为原料，采用二次热蒸发法制备，工艺步骤如下： (1)选用钛粉为原料，钛粉纯度为99.5-99.8%，均匀覆盖在钨舟上，放置耐高温基材钨舟正上方，钨舟与基板之间的间距为3-5_；（2)开启机械泵抽空腔体，等待腔体真空度达到0.1-1OPa，稳定5-15min，然后加热母舟，钛粉开始热蒸发；（3）第一次热蒸发：设定加热电流250-280A，钨舟温度1150-1250℃ ，加热时间为10-30min； (4)第二次热蒸发：降低加热电流至160 -210A, th钨舟温度600-900℃；然后引入氧气二氧化钛纳米薄膜材料，氧气流量在0.5-2.0sccm（标准立方厘米每分钟）的范围内；第二次加热时间为10_30min； (5)第二次热蒸发完成后，先关闭氧气，然后将加热电流逐渐减小到零，最后将样品自然冷却。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：原料为高纯钛粉；基板为硅片或石英。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：需要用机械泵抽空腔体，在真空环境下进行热蒸发。
4.根据权利要求1所述的二氧化钛纳米线薄膜，其特征在于二氧化钛纳米薄膜材料，所述二氧化钛纳米线薄膜中纳米线的直径为10_50nm，长度为50_700nm。
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