时间:2022-04-21 16:00:17来源:网络整理
铟锡氧化物(ITO,或锡掺杂的氧化铟)是铟(III族)氧化物(In2O3)和锡(IV族)氧化物(SnO2))的混合物,通常以大量比例为90% In2O3,10% SnO2,成膜状态时透明无色氧化铟锡(ito),块状时呈黄灰色。
特征
氧化铟锡的主要特性是其兼具导电性和光学透明性。然而,薄膜沉积需要做出妥协,因为高浓度的电荷载流子会增加材料的导电性,但会降低其透明度。
铟锡氧化物薄膜最常通过电子束蒸发、物理气相沉积或一些溅射沉积技术沉积在表面上。
由于铟的高价格和有限的供应、ITO 层的易碎性和缺乏灵活性,以及昂贵的层沉积所需的真空,正在寻找其他替代方案。碳纳米管导电涂层是一种很有前景的替代品。Eikos 正在开发这种类型的涂层,作为 ITO 的廉价、机械更坚固的替代品。PEDOT:PSS 层已进入应用阶段(但它也有暴露于紫外线辐射时降解的缺点和其他一些缺点)。其他可能性包括例如铝掺杂的氧化锌。
采用
ITO主要用于制造液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸等应用、有机发光二极管、太阳能电池,以及用于EMI屏蔽的抗静电涂料和透明导电涂料。ITO 还用于各种光学涂层,最显着的是建筑中红外反射涂层(热镜)、汽车和钠蒸气灯玻璃。其他应用包括用于 VCSEL 激光器的气体传感器、抗反射涂层和布拉格反射器。
ITO 薄膜应力计可在 1400 °C 以上和恶劣环境中使用,例如燃气轮机、喷气发动机和火箭发动机。
ITO薄膜的主要成分是氧化铟锡。当厚度只有几千埃时,氧化铟的透光率高氧化铟锡(ito),氧化锡的导电性强。液晶显示器中使用的ITO玻璃是一种具有高透光率的导电玻璃。因为ITO的吸水性很强,会吸收空气中的水分和二氧化碳,产生化学反应而变质,俗称“霉变”,所以存放时要注意防潮。
ITO层在活性正离子溶液中容易发生离子置换反应,形成其他导电性和透过率较差的活性物质,因此在加工过程中,尽量避免将其长时间置于活性正离子溶液中。ITO 层由许多细晶粒组成。晶粒在加热过程中会裂变并变小,从而增加更多的晶界。当电子突破晶界时,会损失一定的能量。因此,ITO导电玻璃的ITO层为600度。以下将随着温度的升高而增加电阻。
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