电子特种气体及抛光材料的国产替代机会（附股）

由于国家集成电路基金二期的设立，近期国内半导体材料企业抢占先机。除了大硅片和光刻胶，半导体材料细分领域的关键是电子特殊气体和抛光材料。今天就从这两个方面来看看国内的另类机会。

电子特种气体

先普及一下概念，电子气体是指用于生产半导体等电子产品的气体。与传统工业气体相比，电子气体对气体的纯度要求极高，因此也被称为电子特种气体。电子专用气体应用于集成电路制造的很多方面，主要包括氮气、氢气等大宗气体和沉积、掺杂、刻蚀等工艺气体。

2018年全球半导体原材料板块产值42.7亿，规模位居该板块第二。

▲电子特种气体在集成电路制造的诸多方面发挥着重要作用

由于在半导体制造过程中种类繁多、覆盖面广，电子特种气体已成为测量半导体技术的核心产品。根据在集成电路中的作用可分为七类：掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）气体、载流子稀释气体。目前，2017年，国外占全球特种气体市场的88%，国内气体企业仅占12%。

▲电子特种气体市场格局

与国外燃气企业相比，国内燃气企业大部分产品供应仍较为单一，用气水平不高，尤其是在集成电路、显示面板、光伏能源、光缆等高端领域。

份额：

华光华特气体有限公司成立于1993年，是一家致力于特种气体国产化的国家级气体生产企业，是国内首家打破气体材料进口限制的前沿领域，例如：作为超大规模集成电路和新型显示面板。公司是国内首家打破各类特殊气体进口限制的气体企业，已率先实现近20种产品的进口替代。是中国特种气体国产化的先行者。其中，Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne四种气体混合物于2017年通过了全球最大光刻机供应商ASML的产品认证。目前磷系阻燃剂，公司是我国唯一一家通过ASML认证的燃气公司，也是全球仅有的四家以上四项产品全部通过其认证的燃气公司之一。

公司预计明年在科创板上市

有相关业务的国内上市公司：

南大光电（300346）是一家专业从事先进电子材料研发、生产和销售的高新技术企业。公司通过成立子公司全胶逐步进入特种气体领域南大光电材料有限公司。

雅克科技(002409）公司是国内磷系阻燃剂龙头企业，通过内生和外延不断拓展业务范围，从阻燃剂延伸到LNG保温材料。通过收购华飞电子、科美特、UP Chemical全面进入高端电子材料领域，大资金持有公司73%的股份磷系阻燃剂，公司子公司UP Chemical产品IC前驱体、华飞电子产品球形硅粉和科美特产品电子产品德加斯等下游领域在半导体领域，作为上市公司层面半导体材料领域首家大型基金支持的材料公司，公司将受益于加速大基金平台发展，子产品引进及后续拓展本土化，替代空间巨大秒。

CMP抛光材料

化学机械抛光 (CMP) 是一种在集成电路制造中实现全局平坦化的方法。抛光过程中最重要的两种辅助材料是抛光垫和抛光液。抛光垫是抛光技术工艺的核心，也是晶圆芯片制造过程中“卡脖子”的关键材料。

▲CMP工艺示意图

在全球市场上，CMP抛光垫市场的主要供应商是美国陶氏化学DOW，市场占有率高达80%，基本形成垄断。二是美国卡博特公司，国内公司在这个领域没有话语权。在抛光液方面，长期以来，全球化学机械抛光液市场主要被美日企业垄断。在国内，安吉电子取得了突破。与国外巨头相比，我国抛光液市场本土化程度较低，产品主要应用于中低端领域。

鼎隆股份有限公司（300054））是国内抛光垫行业龙头企业，安吉科技（688019））是抛光液龙头企业。鼎龙股份有限公司（300054）历经6年研发已建成国内、国际唯一先进的IC芯片抛光垫研发基地。目前公司产品已实现产销量逐步增加，主要技术指标满足市场主流产品要求，公司有望延续公司以往重大项目经验，突破行业垄断和国内替代。

安吉科技今年在科创板上市。公司自成立以来，深耕化学机械抛光液领域，主持并参与完成了《90-65nm集成电路关键抛光材料研究与产业化》、《45-28nm集成电路电路“重点抛光材料及产业化”、“高密度封装TSV抛光液及清洗液研发及产业化”、“CMP抛光液及配套材料技术平台及产品系列”等国家02专项。时至今日，公司产品主要技术指标达到同等水平，拥有完整的自主知识产权，公司产品具备国产化、定制化、集成化等优势，积累了包括中芯国际、长江存储、华虹宏力、华润微电子、台积电。