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“加工”500万 青海大学大型科研仪器购置补贴专项(双光子三维光刻机)公开招标

时间:2022-08-22 10:14:29来源:化工仪器网

今天,聚焦化工小新为大家分享来自化工仪器网的《500万 青海大学大型科研仪器购置补贴专项(双光子三维光刻机)公开招标》。

青海大学始建于1958年,经过六十多年的发展,目前已成为一所以工、农、医、管四大学科为主,其他学科协调发展的教学研究型大学。学校积极推进产学研深度融合,主动服务国家战略和区域经济社会发展。有国家重点实验室1个、国家重点实验室分室3个、国家地方联合工程实验室(研究中心)3个、教育部重点实验室3个、教育部工程研究中心2个(其中培育中心1个)…………(资料来源:学校)

近日,青海大学发布一项招标公告,计划采购双光子三维光刻机一台,预算金额500万元。符合条件的仪商可于 2021年08月23日 09:00(北京时间)前递交投标文件。

项目基本情况

项目编号:青海鑫融公招(货物)2021-27

项目名称:青海大学大型科研仪器购置补贴专项(双光子三维光刻机)

预算金额(元):5000000

最高限价(元):/

采购需求

标项名称: /

数量: 1台

预算金额(元): 5000000

简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:/

序号

仪器名称

数量

单位

详细技术指标及配()

1

双光子三维光刻机

1

1.双光子三维加工系统:

1.1气冷飞秒光纤激光器重复频率:80MHz ± 1MHz;

1.2平均输出功率:>120mW;

1.3中心波长:780 nm ± 10 nm;

1.4样品运动系统:三维方向最大行程均为300μm的纳米位移台;

1.5二维加工系统最大行程:100mmx100mm机械运动台;

1.6光斑运动系统:最大扫描面积达到Ø=1 mm的二维扫描振镜;

1.7垂直方面最大行程:8mm的位移系统;

1.8全自动找界面系统:配置可以实时观测加工过程的高精度显微镜相机;配置可以用于无尘室的气浮光学平台;操作员控制台:XY方向以及Z轴方向运动控制器;配置能操控系统外设的电脑;配置适用于无尘室的不锈钢工作台,大小120 x 80 cm²;

2.光刻机透镜模组:

2.1最高精度的3D微纳加工套件:可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式;使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 200 ?m;浸入式镜头物镜3D SF; 63x;NA=1.4;

2.2中等精度的3D微纳加工套件:可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式;使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 400 ?m;浸入式镜头物镜3D MF; 25x;NA=0.8;

2.3介观尺度的3D微纳加工套件:可使用镜头浸入式加工模式及普通油浸镜头加工模式;使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 1,000 ?m;浸入式镜头物镜3D LF; 10x;NA=0.3;

2.4介观尺度的二维加工套件:可使用空气镜头以及光斑扫描加工模式,最大单次加工面积为Ø = 600 ?m;浸入式镜头物镜2D MF; 20x;NA=0.5;

3.整体设备技术指标:

*3.1横向最小三维线宽:<200nm;

*3.2横向最小二维线宽:<160nm;

*3.3结构垂直方向最佳分辨率(最小间隔):≤1000 nm (投标时需提供合理的参数验证方式,并且在交货时,验证该项参数,无法验证或验证不合格将不予以验收);

3.4结构横向最佳分辨率:500nm ;

3.5二维平面可加工范围:≥100mm×100mm;

3.6压电纳米三维移动工件台执行写入作业重复精度误差:<±10nm;

3.7振镜扫描模式最高写入速度:≥10mm/sec;

3.8监控:可对加工过程实时监控;

*3.9其他:安装培训时需现场加工一件4-5层横竖交错的木堆结构,其最上层木材单个宽度不大于200nm(投标时需提供合理的参数验证方式,并且在交货时,验证该项参数,无法验证或验证不合格将不予以验收)。

备注:

合同履约期限:详见招标文件

本项目(否)接受联合体投标。

获取招标文件

时间:2021年08月02日至2021年08月06日 ,每天上午08:30至11:30 ,下午14:30至17:30(北京时间,法定节假日除外)

地点:青海鑫融工程项目管理咨询有限公司

方式:网上购买

售价(元):500

提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2021年08月23日 09:00(北京时间)

投标地点(网址):青海省政务服务监督管理局二楼3号开标室

开标时间:2021年08月23日 09:00

开标地点:青海省政务服务监督管理局二楼3号开标室

好了,关于“加工”500万 青海大学大型科研仪器购置补贴专项(双光子三维光刻机)公开招标就介绍到这。

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