“华东师范大学”预算663万 华东师范大学采购反应离子束刻蚀系统等设备

今天，聚焦化工小新为大家分享来自化工仪器网的《预算663万 华东师范大学采购反应离子束刻蚀系统等设备》。

华东师范大学成立于1951年10月16日，是由国家举办、教育部主管，教育部与上海市人民政府重点共建的综合性研究型大学，1996年被列入“211工程”国家重点建设大学行列，2006年教育部和上海市决定重点共建华东师范大学，学校进入国家“985工程”高校行列。

近日，华东师范大学就“华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目”发布公开招标公告，预算663.0789万，采购反应离子束刻蚀系统和感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统，项目情况如下。

项目基本情况

项目编号：0773-2240SHHW0019

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

预算金额：663.0789000 万元(人民币)

最高限价(如有)：663.0789000 万元(人民币)

采购需求：

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

包件1：反应离子束刻蚀系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

3、等离子体源

3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；

★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；

包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min

2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。

其余详见本项目招标文件。

合同履行期限：自合同签订之日起250天内；

本项目(不接受 )联合体投标。

申请人的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》执行。

3.本项目的特定资格要求：详见附件。

获取招标文件

时间：2022年03月17日 至2022年03月24日，每天上午9:30至11:30，下午13:00至16:00。(北京时间，法定节假日除外)

地点：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

方式：因疫情影响，仅支持直接网上转账。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年04月07日 09点30分(北京时间)

开标时间：2022年04月07日 09点30分(北京时间)

地点：上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室

相关资料下载：

华东师范大学附件.docx

好了，关于“华东师范大学”预算663万 华东师范大学采购反应离子束刻蚀系统等设备就介绍到这。